美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器

美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品描述：

該傳感器具有基于*微結(jié)構(gòu)技術(shù)的*硅芯片。它由一個薄膜，熱隔離的橋式結(jié)構(gòu)組成，該結(jié)構(gòu)包含加熱器和溫度感應(yīng)元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件雙面的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。

專門設(shè)計的外殼可精地引導(dǎo)和控制穿過微結(jié)構(gòu)傳感元件的氣流。封裝的機械設(shè)計能夠輕松地將其安裝在印刷電路板上。

激光微調(diào)的厚膜和薄膜電阻器可在一臺設(shè)備與另一臺設(shè)備之間提供一致的互換性。這些電阻呈現(xiàn)懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。

通過蝕刻流量傳感器橋下的空腔空間，可實現(xiàn)加熱器和感應(yīng)電阻的高效，熱隔離。

雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環(huán)加熱器控制，另一個包含雙重傳感元件。

加熱器電路將加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）處，該溫度由熱量感測到。芯片上的沉電阻。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應(yīng)。

未放大的版本需要加熱器控制電路和感測電橋供電電路才能按照規(guī)范進(jìn)行操作。差分放大器電路在提供輸出增益和/或向傳感器輸出引入電壓偏移時可能會很有用。放大版本的板上電路可用于增加輸出增益并引入電壓偏移。（有關(guān)更多電路信息，請參見產(chǎn)品數(shù)據(jù)表和安裝說明。）

美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格：

honeywell傳感器產(chǎn)品特色

• 精密硅微機械加工

• 對0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感

• 適用于較高流量

• 低功耗允許用于便攜式設(shè)備和電池供電的應(yīng)用

• 模擬輸出

• 標(biāo)準(zhǔn)的2.54毫米[0.10英寸]安裝中心

• 激光修正達(dá)到可互換性

• 準(zhǔn)確檢測低壓

AWM43300V傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:

• 加熱，通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)門控制

• 氣體分析儀

• 低真空控制

• 過程控制

• 醫(yī)用H吸機和肺活量儀

• 制氧機

• 泄漏檢測儀

• 通氣罩

• 麻醉控制

• 氣體計量

• 氣相色譜儀

更多產(chǎn)品詳見：honeywell傳感器